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当前位置:首页>半岛真人游戏官方网站>湿法刻蚀显影清洗系统>显影机> UNIXX S 20 D显影机

显影机

简要描述:UNIXX S 20 D 显影机是应用于显影工艺的设备,适用的基板尺寸最大到8英寸的圆片
和最大到6英寸x6英寸的方片。新设计的三片式可拆卸工艺腔体可实现良好的工艺均匀
性和重复性,设备也可用于清洗和旋干工艺。
UNIXX S 20 D的落地式柜体经专门设计,方便操作和维修。它是一款手动显影机,适
用于实验室开展科学研究和技术开发。设备具有多选项(例如可编程流体输送臂)并且
可以升级成自动化的系统

  • 产品型号:UNIXX S 20 D
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-16
  • 访 问 量:684

详细介绍

特点

可处理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm)方片或Ø 8" (Ø 200mm)圆片

采用真空或微接触夹具针对圆形和方形基板不同尺寸的圆片/方形片的夹具可容易更换

真空安全联锁功能

触摸屏输入

显示启动、停止及真空操作按钮

可编程速度和加速度

马达转速最大可达10000/

易拆卸双片腔体本体和防溅环

网络接口

USB接口

选项

电子流体输送手臂--移动速度和位置可编程

液体喷嘴喷雾型,射流型

热流体线,最高80°C

真空或微接触夹具不同尺寸

可拆卸工艺腔体及防溅环

热板

热板接近式烘烤,手动可调接近距离

可编程接近距离热板

真空泵

附加HMDS热板

性能参数

触摸屏程序输入

程序数: 100

程序步数:50

最长单步时间: 999

单步时间分辨率: 0.1

旋转马达

旋转速度:最高10.000/分钟*

转速分辨率: 1/分钟

旋转精度: ± 2/分钟

加速度:最高50,000/分钟/**和基片重量有关

热板

温度范围:最高300°C

温度分辨率: 0.1°C

温度均匀性( 100°C) : < ± 0.5°C

动力需求

电源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A

压缩空气: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD Ø8mm

真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD Ø8mm

N氮气(选项): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD Ø6mm

设备外形(xx):

落地式柜体:1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52")

带水平调节

不锈钢框架

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