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EDC-650显影机开机启动适用工艺

更新时间:2018-01-24 点击次数:1617
EDC-650显影机开机启动适用工艺

EDC-650显影机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备的上才可能达到稳定性和均匀性。

  EDC-650显影机要注意的问题如下:

  ①开机前就应该启动显影机给显影液预热,待显影液温度达到设定的温度值再开始显影。

  ②定期清洗显影槽和显影槽中的各种胶辊,以避免印版带脏、刮伤等现象的出现。

  ③清洗涂胶的胶辊,以免胶辊干结从而对驱动电机造成损害。

  ④注意显影液的疲劳程度,及时地更换显影液。

  EDC-650显影机适用工艺(包括但不限于下述湿法制程)

  光刻胶显影(KrF/ArF)

  SU8厚胶显影

  显影后清洗

  PostCMP清洗

  光罩去胶清洗

  光刻胶去除

  金属Lift-off处理

  刻蚀微刻蚀处理
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