PlasmaSTAR®模块化腔室和电极组件是该系统的*功能。 腔室材料是硬质阳极氧化铝， 有几种不同的电极设计，包括用于反应离子刻蚀（RIE）和平面处理的水冷平板电极，用于表面清洗或处理的交替多层托盘电极，用于小化离子损伤的下游电极，和用于普通的圆柱形笼式电极。

反应离子刻蚀机PlasmaStar 100仪器介绍 PlasmaSTAR®系列等离子处理系统适合处理所有的材料，拥有多种腔室和电极配置，可满足不同的等离子工艺和基片尺寸。占地面积小，用于各种等离子工艺的模块化腔室和电极配置。此外，触摸屏计算机控制，多级程序控制和组件控制，操作简单。PlasmaSTAR®模块化腔室和电极组件是该系统的*功能。

型号PICO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网 可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Pico 系统主要应用于以下领域： 分析 (REM, TEM)，考古，汽车，研究和开发部门，半导体技术，小批量生产，塑料技术，医疗技术，微系统技术，传感技术，灭菌，纺织技术

型号为Femto的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网 可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Femto 等离子系统主要应用于以下领域： 分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术

0.5 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 型号为ATTO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网 配有手动型 和 Basic PC 控制系统，主要用于以下领域： 小批量生产、分析 (REM, TEM)、医疗技术、灭菌、研究和开发部门、考古、纺织技术、塑料技术

2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备型号为ZEPTO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网 ，配有手动型 和 Basic PC 控制系统，主要用于以下领域: 小批量生产, 分析 (REM, TEM), 医疗技术, 灭菌, 研究和开发部门, 考古, 纺织技术, 塑料技术