德国Diener半岛全站手机客户端下载官网

型号PICO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与Pico等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。型号PICO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网主要应用于以下领域：

分析(REM, TEM)，考古，汽车，研究和开发部门，半导体技术，小批量生产，塑料技术，医疗技术，微系统技术，传感技术，灭菌，纺织技术

1.基本装备：

根据组件/选装件，外壳规格会有所不同

腔室容积：根据具体版本4 - 15升

供电电源：台式设备为230 V，立式设备为400 V/3相位

2.气体供给：针型阀，质量流量控制器(MFC)

3.真空腔室：

圆形不锈钢，带盖（约∅ 150 mm，长320 mm或长600 mm）或

矩形不锈钢，带铰链的门（约宽160 mm x高160 mm x深325 mm或600 mm）

矩形铝材，带铰链的门（约∅ 160 mm x 160 mm，长325 mm或长600 mm）

圆形石英玻璃(UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约直径130 mm，长300mm或600 mm）

圆形硼硅玻璃(UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约直径130 mm，长300 mm或600 mm）

4.装载件

产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

5.电极：单层或多层，RIE

6.控制系统

半自动型

Basic PC控制系统(Microsoft Windows CE)

Full PC控制系统(Windows 10 IoT)

7.压力测量：Pirani，电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

8.计时器：数字

9.发生器

频率：

40 kHz：功率0 - 200 W；0 -1000 W

100 kHz：功率500 W

80 kHz：功率1000 W

13.56 MHz：功率0 - 100 W；0 - 300 W

2.45 GHz：功率0 - 300 W

所有发生器均为0 - 100%无级可调型

10.真空泵

不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）

11.其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项