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晶圆清洗机

简要描述：WCS-200专为切割后的晶圆清洗而设计。该系统有两种配置：最大8英寸的晶圆和最大12英寸的晶圆。

  • 产品型号：WCS-200
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2023-11-13
  • 访 问 量：982
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    详细介绍

    特点：

    ·高压或雾化喷雾清洗

    ·拥有触摸屏界面

    ·可重复过程的快速启动按钮

    ·自动透明盖

    ·CDA 和 N2输入传感器

    WCS-200专为切割后的晶圆清洗而设计。该系统有两种配置：最大8英寸的晶圆和最大12英寸的晶圆。

    晶圆清洗工艺通过触摸屏进行设置。用户可以通过4个步骤对多达50个程序段进行编程：

    ·冲洗

    ·吹扫

    ·N2干燥

    ·旋转

    每个步骤可设置不同的速度和时间参数。


    技术参数：

    晶圆最大尺寸

    8"/12"mm

    晶圆清洗参数：

    ·速度;

    ·加速度；

    ·清洗时间；

    ·冲洗时间；

    ·N2干燥时间；

    转速范围

    500-3000 rpm

    电源电压

    230VAC 50Hz 5A

    CDA供给压力

    0.5-0.6 MPa

    CDA 最大消耗量

    3 m3/h

    CDA 连接管

    6 mm

    去离子水供给压力

    0.2-0.3 MPa

    去离子水最大消耗量

    100 L/h

    去离子水连接管

    6 mm

    真空供应

    0.02-0.04 MPa

    真空连接管

    6 mm

    排气连接管

    50 mm

    尺寸

    900x780x1280 mm

    重量

    110 kg


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