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详细介绍
台式半岛全站手机客户端下载官网 是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备，利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面，达到常规清洗方法无法达到的效果。具有设备小巧，真空腔容量大，适用于实验室环境；清洗过程不会产生高温，避免产品产生热变形；可以处理各种各样的材质，如金属、半导体、氧化物或高分子材料，应用广泛。
台式半岛全站手机客户端下载官网 特点：
u 采用射频电源、自动匹配器，一键式操控
u 低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料
u 无环境污染、无化学品消耗
u 可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好
u 适用性广，各种材料、形状都可以处理
设备的优点：
1、采用射频电源、自动匹配器，一键式操控。
2、低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料。
3、无环境污染、无化学品消耗。
4、可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好。
5、适用性广，各种材料、形状都可以处理。
腔体材质 铝合金
电源功率 0-300W可调
射频频率 13.56MHz
真空度 ≤100Pa
气体路数 2路
气体流量 MFC气体质量流量计 500SCCM（可调）
控制 触屏
清洗时间 1-6000s连续可调
处理尺寸：≤4寸
内腔尺寸 Φ147mm*145mm（直径*深）
外形尺寸 500mm*525mm*365mm（宽*深*高）
重量 ≈38KG
真空泵 爱特VRD-4
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