Anatech ICP等离子刻蚀机

当气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。如果该区域气流足够强，高比例的气体原子将服从电子或两个成为已电离的。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成的气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小，除非他们通过电场加速。加速时，他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。

气体等离子体类型：各向异性等离子体是有方向性的，由电气控制一些具体的高能离子，或某个范围的能量（见美国铝框系统）。

各向同性等离子体是多方位和包含整个的3–D等离子的设备（见美国石英筒备系统）。

气体等离子体处理了超过湿化学处理几个优点。液体的表面张力的现象消除，正如泡沫的形成，这可能会导致不*湿化。等离子蚀刻可以迅速结束，终止进程，而液体蚀刻工艺很难准确的结束。

“绿色”的优势：无氟氯化碳和污水，操作和环境安全。排除有毒和腐蚀性的液体。等离子处理的主要缺点是较低的吞吐量。

我们致力于气体等离子处理，即让气体在常温下，无热相变下改变。这些气体可以是惰性的，也可以是起反应的。在反应性气体的情况下，利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。

铝质腔体等离子系统Aluminum Chamber Plasma Systems

SCE 14铝质腔体等离子系统

长宽高356毫米的立方体腔体

外形尺寸559毫米x 686毫米x 915毫米(w,d,h)

SCE 18铝质腔体等离子系统

长宽高457毫米的立方体腔体

外形尺寸711毫米x 711毫米x 1651毫米(w,d,h)

SCE 24铝质腔体等离子系统

长宽高610毫米的立方体腔体

外形尺寸864毫米x 813毫米x 1829毫米(w,d,h)

SCE30铝质腔体等离子系统

长宽高762毫米的立方体腔体

外形尺寸915毫米x 915毫米x 1829毫米(w,d,h)

石英滚筒等离子系统Quartz Barrel Plasma Systems

4" diameter x 8" long

102毫米直径x 203毫米长腔体

外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米H x 584毫米W x 762毫米D

SCE 106石英滚筒等离子处理系统

6" diameter x 8"long

152毫米直径x 203毫米长腔体

外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米H x 584毫米W x 762毫米D

SCE108石英滚筒等离子处理系统

8" diameter x 8"long腔体

203毫米直径x203毫米长

外形尺寸26"H x 23"W x 30"D 660毫米H x 584毫米W x 762毫米D

SCE110石英滚筒等离子处理系统

10" dia x 18" L long

254毫米直径x 457毫米长腔体

外形尺寸36"H x 21"W x 30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米D

SCE 115石英滚筒等离子处理系统

10" dia x 18" L long

254毫米直径x 457毫米长腔体

外形尺寸22" W x 36" H x 27" D 559毫米x914毫米H x 686毫米D

SCE150石英滚筒等离子处理系统

10" dia x 18"L 2 4毫米直径x 457毫米长腔体

SCE 604石英滚筒等离子处理系统

Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz

4个腔体102毫米x203毫米直径石英腔体

玻璃等离子系统Tumbler Plasma Systems

SCE 10等离子处理系统

SCE 18等离子处理系统

Aluminum Basket (457毫米x 1016毫米)

控制系统Control System

•PLC - "Touch-Panel" operation

PLC触摸面板操作

•Digital count down timer (hrs, min, sec)

数字倒计时定时器（小时，分，秒）

•Digital On-Screen vacuum display

数码屏幕真空显示器

•Gas flow with needle valve control

气体流量针形阀控制

•Manual tuning standard

手动校准标准

•Optional: Automatic RF tuning for load match

•可选的：自动射频调整与负载匹配

反应腔体Reactor Chamber

•4" diameter x 8" long quartz chamber

•4英寸直径x8英寸长的石英舱体

•RF shielded

•射频屏蔽

•Front load

•前负荷

尺寸：Dimensions

•26" H x 23" W x 30" D

•26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）

•275 lbs Crated weight

•275磅包装重量。

射频功率源RF Power Source

•0-150 Watt RF 13.56 MHz supply

•0-150 W射频13.56兆赫兹供应

•Forward and reflected power readings

•正向和反射功率读数

•Low frequency optional

•低频选项