哪些因素会影响半岛电竞下载网址是什么啊 的使用功率

半岛电竞下载网址是什么啊等离子去胶影响的因素：

　　频率选择：频率越高，氧越易电离形成等离子体。频率太高，以至电子振幅比其平均自由程还短，则电子与气体分子碰撞几率反而减少，使电离率降低。一般常用频率为13.56MHz及2.45GHZ。

　　功率影响：对于一定量的气体，功率大，等离子体中的的活性粒子密度也大，去胶速度也快；但当功率增大到一定值，反应所能消耗的活性离子达到饱和，功率再大，去胶速度则无明显增加。由于功率大，基片温度高，所以应根据工艺需要调节功率。

　　真空度的选择：适当提高真空度，可使电子运动的平均自由程变大，因而从电场获得的能量就大，有利电离。另外当氧气流量一定时，真空度越高，则氧的相对比例就大，产生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高，活性粒子浓度反而会减小。

　　氧气流量的影响：氧气流量大，活性粒子密度大，去胶速率加快；但流量太大，则离子的复合几率增大，电子运动的平均自由程缩短，电离强度反而下降。若反应室压力不变，流量增大，则被抽出的气体量也增加，其中尚没参加反应的活性粒子抽出量也随之增加，因此流量增加对去胶速率的影响也就不甚明显。

　　半岛电竞下载网址是什么啊 去除光刻胶就是使用氧气等离子体对光刻胶层进行灰化,反应后生成CO2和H2O，随即被抽走。用半岛全站手机客户端下载官网 去胶的优点是去胶操作简单、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保。