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德国Diener半岛全站手机客户端下载官网

简要描述:型号PICO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网 可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Pico 系统主要应用于以下领域:
分析 (REM, TEM),考古,汽车,研究和开发部门,半导体技术,小批量生产,塑料技术,医疗技术,微系统技术,传感技术,灭菌,纺织技术

  • 产品型号:PICO
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-16
  • 访 问 量:576

详细介绍

型号PICO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与Pico等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。型号PICO的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网主要应用于以下领域:

分析(REM, TEM)考古汽车研究和开发部门半导体技术小批量生产塑料技术医疗技术微系统技术传感技术灭菌纺织技术

1.基本装备:

根据组件/选装件,外壳规格会有所不同

腔室容积:根据具体版本4 - 15

供电电源:台式设备为230 V,立式设备为400 V/3相位

2.气体供给:针型阀质量流量控制器(MFC)

3.真空腔室:

圆形不锈钢,带盖(约∅ 150 mm,长320 mm或长600 mm)或

矩形不锈钢,带铰链的门(约宽160 mm x160 mm x325 mm600 mm

矩形铝材,带铰链的门(约∅ 160 mm x 160 mm,长325 mm或长600 mm

圆形石英玻璃(UHP),配有盖子或者带铰链的门(约直径130 mm,长300mm600 mm

圆形硼硅玻璃(UHP),配有盖子或者带铰链的门(约直径130 mm,长300 mm600 mm

4.装载件

产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

5.电极:单层或多层RIE

6.控制系统

半自动型

Basic PC控制系统(Microsoft Windows CE)

Full PC控制系统(Windows 10 IoT)

7.压力测量:Pirani电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

8.计时器:数字

9.发生器

频率:

40 kHz:功率0 - 200 W0 -1000 W

100 kHz:功率500 W

80 kHz:功率1000 W

13.56 MHz:功率0 - 100 W0 - 300 W

2.45 GHz:功率0 - 300 W

所有发生器均为0 - 100%无级可调型

10.真空泵

不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

11.其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项




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