当前位置:首页>半岛真人游戏官方网站>快速退火炉>SSI系列> Solaris 100 /150/200SSI快速退火炉
详细介绍
美国RTP系列的快速退火炉温度均匀度≤1%,处理的大尺寸可以达到200mm,温度可以达到1200摄氏度,处理过程可以在真空环境或者惰性气体的环境中执行,做多可支持4~6路进气,可以用到的气体包含N2,O2,N2H2,Ar和H2。
基于PID处理控制器的Solaris GUI可以存储程序,每套程序可以支持高达100个步骤的设定,带USB2.0的接口。包含Solaris GUI软件,与微软Windows操作系统兼容。通过该软件,通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。
技术规格:
-温度:1200摄氏度;
-升温速率:150摄氏度/秒;
-温控均匀性:±2.5℃设定温度;
-加热方式:红外卤素灯,顶部及底部区域加热;
-处理时间:0.1秒至无*;
-灯管数量及功率:13支,
-腔体冷却:风冷方式;
-衬底冷却:氮气吹扫;
-工艺气路:MFC控制,多6路(氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);
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