当前位置:首页>半岛真人游戏官方网站>光刻胶>Futurrex光刻胶> PR1系列Futurrex紫外正性光刻胶
详细介绍
Futurrex产品优势:
1、Futurrex光刻胶黏附性好,无需使用增粘剂(HMDS)
2、负性光刻胶常温下可保存3年
3、150度烘烤,缩短了烘烤时间
4、单次旋涂能够达到100um膜厚
5、显影速率快,100微米的膜厚,仅需6~8分钟
正性光刻胶
A、粘度增强正胶(PR1系列)
应用:蚀刻、反应离子刻蚀、离子注入、电镀;
特征:PR1系列正胶耐热温度=110℃;
品牌 |
产地 |
型号 |
厚度 |
耐热温度 |
应用 |
Futurrex |
美国 |
PR1-500A |
0.4μm~0.9μm |
耐热温度=110℃ |
湿刻、反应离子束刻蚀、离子植入、电镀 |
PR1-1000A |
0.7μm~2.0μm |
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PR1-1500A |
1.3μm~3.0μm |
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PR1-2000A |
1.7μm~4.0μm |
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PR1-4000A |
3.7μm~10.0μm |
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PR1-12000A |
10.0μm~25.0μm |
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Micro Resist |
德国 |
ma-P 1200系列 |
0.5~50μm胶厚 |
非常适合作为刻蚀掩模,*的抗干刻、湿刻性能; 光刻胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影; |
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