自动型离子溅射仪

英国Agar Scientific：B7341自动型离子溅射仪

易于使用的基本溅射涂布机，用于SEM样品的金涂层

这是一种易于使用的基本仪器，用于SEM样品的金涂层。它具有*可变的电流控制，带暂停选项的数字处理计时器，可变高度的样品台，铰接顶板和O形密封真空室。该控制允许溅射电流独立于气体压力设定，气体压力可通过手动泄漏阀单独调节。覆盖率和粒度针对任何样品进行了优化。具有57mm直径目标的冷磁控管型头可以在小的加热下实现高效溅射。涂布时间由带有数字读数的定时器设定并存储在存储器中。真空状态和溅射电流显示在面板仪表上。

模块化桌面设计将溅射控制单元，泵送系统和厚度监视器组合在一个仅400 x 600mm的区域内。它采用快速释放全金属耦合系统*集成。可调节高度的样品台多可接受12针型短柱，也可用作其他类型短柱和样品的平台。为可选的膜厚监控器提供真空馈通。

Agar手动喷金仪（离子溅射仪）为英国进口设备，操作简单，适用于扫描电镜样品制备，可喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。

喷金仪使用小贴士：

1）需要溅射喷金的样品

a)*类样品是电子束敏感的样品，主要包括生物样品，塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

b)另一类样品是非导电的样品，由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料可以增加信噪比，从而获得更好的成像质量。

2)溅射材料

常用的溅射材料为金，导电性高。

喷金仪的真空度越高，所溅射的金属颗粒越小，可以减少样品表面形貌失真的情况。当需要超高分辨率成像时，选择高真空喷金仪，同时还可以选用其他溅射材料，如：铬，铱等，溅射的晶粒更细小。

自动型离子溅射仪

规格

室大小 120mmØx120mm高（4.75“x 4.75”）

溅射头 低压平面磁控管

快速改变目标

环绕式暗空间护罩

溅射目标 金标配（Au / Pd或Pt可选）

57毫米直径x 0.1毫米厚

溅射供应 基于微处理器

安全联锁

电流控制独立于真空

可变10 - 40mA

外形尺寸 W 420mm（16.5“），D 295mm（11.6”），H 287mm（11.3“）

重量 10公斤（22.1磅）

功率 大40VA（不包括旋转泵）