当前位置:首页>半岛真人游戏官方网站>探针台>MicroXact探针台> SPS手动系列MicroXact手动探针台
相关文章
Related Articles详细介绍
使用MicroXact手动探针台进行IV,CV和低电流测试,可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项和MicroXact手动探针台的灵活性,晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。
特征
手动平台组装可提供额外的预载滑块,便于装载和卸载晶圆或样品。
手动控制压板和卡盘Z位置,进行粗调和微调。
光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器。
同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试。
标准吊杆安装组件,用于显微镜的全范围XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器,带80TPI螺钉,用于探针的μm级定位
可用的高分辨率微定位器,带80TPI螺钉,用于探针的μm级定位。
可用的RF选项包括可定制的RF探头,RF卡盘和屏蔽罩。
型号 |
SPS-1000 |
SPS-2000 |
SPS-2200 |
晶圆尺寸 |
高达150mm |
高达100mm |
高达200mm |
XY舞台行程 |
100mmx100mm或150mmx150mm标准 |
高达125mmx125mm |
高达200mmx200mm |
系统尺寸 |
56厘米宽x 51厘米深x 61厘米高 |
92米宽x 122厘米深x 92厘米高 |
|
系统重量 |
35kg至45kg,具体取决于所选的选项 |
~70公斤 |
产品咨询