MicroXact标准半自动探针台

简要描述：MicroXact的半自动探针台提供多种选择，包括加热/冷却晶圆卡盘，标准或数字显微镜以及可编程平台分度，为您的所有高效设备表征提供经济高效且易于使用的解决方案。晶圆级可靠性测试需求。这些半自动探针台有三种选择（标准，高精度和高速）。

产品分类

详细介绍

XY平台和压板的精密电机控制。还可提供额外的预载滑块，以便于装载和卸载晶圆或样品。

光滑的粉末涂层钢板可容纳多达10个磁性或真空定位器。

通过位于站两侧的终端隔离馈通，可以方便地连接微定位器，可以为BNC，Triax或Banana插头连接进行定制。

标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位。

可用的RF选项包括可定制的RF探头，RF偏置卡盘和屏蔽罩。

高分辨率复合显微镜。

偏光显微镜。

广泛的相机选择。

射频可偏置卡盘和屏蔽罩。

抛光镀金可调节真空吸盘。

超*真空泵。

标准半自动化系统

电动XY夹头，SPS-2600中的电动压板，SPS 2800中卡盘的电动Z轴运动，标准配置。Motorized theta是一种选择。

基于步进电机，无编码器。

成本竞争力

强烈推荐用于需要低于0°C的测试或屏蔽的应用

可用选项：加热或冷却卡盘，变焦镜或复合显微镜，各种屏蔽，用于直流和射频测量的卡盘选择等等

型号	SPS-2800	SPS-2600
晶圆尺寸	高达200mm	高达100mm
电机类型	步进电机
XY舞台行程	高达200mmx200mm	高达125mmx125mm
XY舞台分辨率	电动，6.5μm重复性
显微镜	高品质立体声变焦，工作距离可达200mm，放大倍率范围为3.5X至180X
馈通终端	BNC，Triax或香蕉插头
系统尺寸	122厘米宽x122厘米深x 92厘米高		78厘米宽x80厘米深x 58厘米高

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