NIL纳米压印PL系列

简要描述：EZ Imprinting推出了一款台式独立NIL纳米压印PL系列系统：PL系列400/600.
EZImprinting是一种超高产率（> 99％）纳米压印光刻系统，带有低于10纳米的分辨率和一步自动释放功能。
该平台提供具有微定位夹具的机械平台，用于安装纳米压印室，UV固化源和对准显微镜。
它即可以作为纳米压印系统，也可以作为传统的掩模对准器，同时提供可编程的自动控制功能。

产品型号：PL400
厂商性质：代理商
更新时间：2023-11-12
访问量：2220

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详细介绍

EZI UV Nanoimprint System PL400

特点：

▪全晶圆压印- PL600适用于6英寸晶圆处理, PL400适用于4英寸晶圆处理

▪低于10纳米分辨率，产率高达99％

▪一步自动释放功能，可防止分离过程中模具/基材损坏，使压印产量增大

▪支持各种类型的硬模和软模

▪可变模具和基材尺寸，灵活方便

▪可编程PLC，通过自定义参数进行过程控制，带触摸屏用户界面

▪对准功能选项

▪多种工艺，适用于各种应用光学器件，显示器，数据存储，生物医学器件，半导体IC，化学合成和先进材料等

▪专有的紫外线固化纳米压印抗蚀剂对硬度或厚度没有限制，并且与传统的光刻工艺兼容

EZ Imprinting处理器参数：

基材尺寸: 4“标准（尺寸较小，形状不规则）

印记区:与晶圆尺寸相同。

模板尺寸4”,2” and 1”

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